|
主要性能參數 | |
|
晶系 |
四方 |
|
生長方法 |
提拉法 |
|
晶格常數 |
a=3.756Å c=12.63 Å |
|
熔點（℃） |
1650 |
|
密度 |
5.92（g/cm3） |
|
硬度 |
6-6.5（mohs） |
|
介電常數ε |
~ 22 |
|
尺寸 |
10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20， |
|
Ф15,Ф20，Ф1″，Ф2″ | |
|
厚度 |
0.5mm，1.0mm |
|
拋光 |
單面或雙面 |
|
晶向 |
＜001＞ |
|
晶面定向精度: |
±0.5° |
|
邊緣定向精度: |
2°（特殊要求可達1°以內） |
|
斜切晶片 |
可按特定需求，加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜（傾斜角1°－45°）的晶片 |
|
Ra: |
≤5Å（5µm×5µm） |
|
包裝 |
100級潔凈袋，1000級超凈室 |