主要性能參數(shù)
Pt/Ti/SiO2/Si
Au/Cr/Si
制備方法:
磁控濺射
導(dǎo)電類型
P型 摻B,N型摻P
P型摻B, N型摻P
膜厚 ：
Pt：150nm；過渡層Ti：20nm ； SiO2： 500nm
Au,40~100nm,過渡層Cr,20nm
硅片晶向
<100>或者<111>
常規(guī)尺寸：
Dia4"；Dia2"；10mm*10mm ；10mm*5mm
Dia2"；10mm*10mm ；10mm*5mm
